解决方案

SiC功率器件的干法刻蚀工艺：为什么不能沿用硅（Si）的工艺条件

为何SiC功率器件的干法刻蚀无法沿用硅基条件？本文深入解析碳化硅高键合能与热导率带来的工艺制约，并探讨刻蚀选择比、侧壁形貌控制的权衡困境，以及解决加工挑战的技术要点。

电力器件

了解 SPT 如何通过刻蚀与热处理设备，支持功率器件制造中的钝化、深刻蚀等关键工艺。