RF Devices
SPT 提供适用于 GaN-HEMT 的低损伤刻蚀与沉积系统，助力射频器件的集成与性能提升。
解决方案
了解 SPT 的等离子体与热处理技术如何应用于从 MEMS 到功率器件的多种半导体领域。探索我们的解决方案。
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